Особенности конструкций МЭМС-датчиков с использованием мембран
| dc.contributor.author | Тимошенко, Д. В. | ru |
| dc.contributor.author | Реутская, О. Г. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2025-10-09T13:00:16Z | |
| dc.date.available | 2025-10-09T13:00:16Z | |
| dc.date.issued | 2025 | |
| dc.identifier.citation | Тимошенко, Д. В. Особенности конструкций МЭМС-датчиков с использованием мембран / Д. В. Тимошенко, О. Г. Реутская // Новые направления развития приборостроения : материалы 18-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 23-25 апреля 2025 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (пред. редкол.), О. К. Гусев, А. И. Свистун [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 221-222. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/159035 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Особенности конструкций МЭМС-датчиков с использованием мембран | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
