Создание геттера в кремнии методом имплантации сурьмы и параметры полупроводниковых приборов

Date
2013Publisher
Bibliographic entry
Создание геттера в кремнии методом имплантации сурьмы и параметры полупроводниковых приборов / П. К. Садовский, А. Р. Челядинский, В. Б. Оджаев [и др.] // Приборостроение-2013 : материалы 6-й Международной научно-технической конференции (20–22 ноября 2013 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. кол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 357-359.