Создание геттера в кремнии методом имплантации сурьмы и параметры полупроводниковых приборов
| dc.contributor.author | Садовский, П. К. | ru |
| dc.contributor.author | Челядинский, А. Р. | ru |
| dc.contributor.author | Оджаев, В. Б. | ru |
| dc.contributor.author | Турцевич, А. С. | ru |
| dc.contributor.author | Васильев, Ю. Б. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2025-06-12T12:53:30Z | |
| dc.date.available | 2025-06-12T12:53:30Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Создание геттера в кремнии методом имплантации сурьмы и параметры полупроводниковых приборов / П. К. Садовский, А. Р. Челядинский, В. Б. Оджаев [и др.] // Приборостроение-2013 : материалы 6-й Международной научно-технической конференции (20–22 ноября 2013 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. кол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 357-359. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/156320 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Создание геттера в кремнии методом имплантации сурьмы и параметры полупроводниковых приборов | ru |
| dc.type | Article | ru |
