Исследование степени дефектности полупроводниковой пластины методами зондовой электрометрии и эллипсометрии

Authors
Date
2013Publisher
Bibliographic entry
Исследование степени дефектности полупроводниковой пластины методами зондовой электрометрии и эллипсометрии / Р. И. Воробей, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий [и др.] // Приборостроение-2013 : материалы 6-й Международной научно-технической конференции (20–22 ноября 2013 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. кол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 164-165.