Исследование степени дефектности полупроводниковой пластины методами зондовой электрометрии и эллипсометрии
| dc.contributor.author | Воробей, Р. И. | ru |
| dc.contributor.author | Жарин, А. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Свистун, А. И. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, А. К. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, К. Л. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2025-06-12T12:47:34Z | |
| dc.date.available | 2025-06-12T12:47:34Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Исследование степени дефектности полупроводниковой пластины методами зондовой электрометрии и эллипсометрии / Р. И. Воробей, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий [и др.] // Приборостроение-2013 : материалы 6-й Международной научно-технической конференции (20–22 ноября 2013 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. кол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 164-165. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/156247 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование степени дефектности полупроводниковой пластины методами зондовой электрометрии и эллипсометрии | ru |
| dc.type | Article | ru |
