Вакуумно-технологическое оборудование для напыления слоев Ti, Ni, Ag, Cr, Cr2O3
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Vacuum technological equipment for sputtering layers of Ti, Ni, Ag, Cr, Cr2O3
Abstract
Представлен основной состав технологических устройств и подложки для проведения процесса на вакуумно-напылительной установке.
item.page.description-other
The main composition of technological devices and substrates for carrying out the process on a vacuum sputtering equipment.
Description
Citation
Сапожникова, К. С. Вакуумно-технологическое оборудование для напыления слоев Ti, Ni, Ag, Cr, Cr2O3 = Vacuum technological equipment for sputtering layers of Ti, Ni, Ag, Cr, Cr2O3 / К. С. Сапожникова, О. Ю. Наливайко, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2024 : материалы 17-й Международной научно-технической конференции, 26-29 ноября 2024 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : Интегралполиграф, 2024. – С. 409-411.