Вакуумно-технологическое оборудование для напыления слоев Ti, Ni, Ag, Cr, Cr2O3
Another Title
Vacuum technological equipment for sputtering layers of Ti, Ni, Ag, Cr, Cr2O3
Bibliographic entry
Сапожникова, К. С. Вакуумно-технологическое оборудование для напыления слоев Ti, Ni, Ag, Cr, Cr2O3 = Vacuum technological equipment for sputtering layers of Ti, Ni, Ag, Cr, Cr2O3 / К. С. Сапожникова, О. Ю. Наливайко, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2024 : материалы 17-й Международной научно-технической конференции, 26-29 ноября 2024 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : Интегралполиграф, 2024. – С. 409-411.
Abstract
Представлен основной состав технологических устройств и подложки для проведения процесса на вакуумно-напылительной установке.
Abstract in another language
The main composition of technological devices and substrates for carrying out the process on a vacuum sputtering equipment.