Белорусский национальный технический университет
Repository of the Belarusian National Technical University
ISSN: 2310-7405
Repository of the Belarusian National Technical University
View Item 
  •   Repository BNTU
  • Материалы конференций и семинаров
  • Международные и республиканские конференции
  • Приборостроение
  • Приборостроение-2024
  • Материалы конференции по статьям
  • View Item
  •   Repository BNTU
  • Материалы конференций и семинаров
  • Международные и республиканские конференции
  • Приборостроение
  • Приборостроение-2024
  • Материалы конференции по статьям
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Исследование дефектов анодного оксида алюминия методами оптической микроскопии и сканирующей зондовой электрометрии

Thumbnail
Authors
Жарин, А. Л.
Тявловский, А. К.
Пантелеев, К. В.
Свистун, А. И.
Микитевич, В. А.
Воробей, Р. И.
Гусев, О. К.
Борисенок, С. В.
Самарина, А. В.
Мухуров, Н. И.
Date
2024
Publisher
Интегралполиграф
Another Title
Study of anode aluminum oxide defects with optical microscopy and scanning probe electrometry techniques
Bibliographic entry
Исследование дефектов анодного оксида алюминия методами оптической микроскопии и сканирующей зондовой электрометрии = Study of anode aluminum oxide defects with optical microscopy and scanning probe electrometry techniques / А. Л. Жарин, А. К. Тявловский, К. В. Пантелеев [и др.] // Приборостроение-2024 : материалы 17-й Международной научно-технической конференции, 26-29 ноября 2024 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : Интегралполиграф, 2024. – С. 50-52.
Abstract
Для исследования дефектности поверхности анодного оксида алюминия применен комплексный подход, включающий анализ пространственного распределения относительных значений работы выхода электрона и поверхностной фото-ЭДС методом сканирующего зонда Кельвина и подробное изучение дефектных областей методом оптической микроскопии. Сканирование поверхности образца электрометрическим зондом с низким пространственным разрешением обеспечивает быстрое предварительное выявление и локализацию областей скопления дефектов, тогда как оптическая микроскопия позволила определить конкретный вид выявленных дефектов.
Abstract in another language
The study of the anodic aluminum oxide surface defectiveness was performed with a comprehensive approach that included an analysis of the spatial distribution of the relative surface work function and surface photo-EMF using the scanning Kelvin probe combined with a detailed study of the defective areas with optical microscopy. Low-resolution scanning of the sample`s surface with an electrometric probe ensures rapid preliminary detection and localization of defective areas while optical microscopy made it possible to determine the specific type of defects found.
URI
https://rep.bntu.by/handle/data/152993
View/Open
50-52.pdf (470.2Kb)
Collections
  • Материалы конференции по статьям[210]
Show full item record
CORE Recommender

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
 

Browse

All of Repository BNTUCommunities & CollectionsAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateTypeThis CollectionAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateType

My Account

LoginRegister

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us