| dc.contributor.author | Жарин, А. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, А. К. | ru |
| dc.contributor.author | Пантелеев, К. В. | ru |
| dc.contributor.author | Свистун, А. И. | ru |
| dc.contributor.author | Микитевич, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Воробей, Р. И. | ru |
| dc.contributor.author | Гусев, О. К. | ru |
| dc.contributor.author | Борисенок, С. В. | ru |
| dc.contributor.author | Самарина, А. В. | ru |
| dc.contributor.author | Мухуров, Н. И. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2025-02-05T12:15:46Z | |
| dc.date.available | 2025-02-05T12:15:46Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.identifier.citation | Исследование дефектов анодного оксида алюминия методами оптической микроскопии и сканирующей зондовой электрометрии = Study of anode aluminum oxide defects with optical microscopy and scanning probe electrometry techniques / А. Л. Жарин, А. К. Тявловский, К. В. Пантелеев [и др.] // Приборостроение-2024 : материалы 17-й Международной научно-технической конференции, 26-29 ноября 2024 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : Интегралполиграф, 2024. – С. 50-52. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/152993 | |
| dc.description.abstract | Для исследования дефектности поверхности анодного оксида алюминия применен комплексный подход, включающий анализ пространственного распределения относительных значений работы выхода электрона и поверхностной фото-ЭДС методом сканирующего зонда Кельвина и подробное изучение дефектных областей методом оптической микроскопии. Сканирование поверхности образца электрометрическим зондом с низким пространственным разрешением обеспечивает быстрое предварительное выявление и локализацию областей скопления дефектов, тогда как оптическая микроскопия позволила определить конкретный вид выявленных дефектов. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Интегралполиграф | ru |
| dc.title | Исследование дефектов анодного оксида алюминия методами оптической микроскопии и сканирующей зондовой электрометрии | ru |
| dc.title.alternative | Study of anode aluminum oxide defects with optical microscopy and scanning probe electrometry techniques | ru |
| dc.type | Article | ru |
| local.description.annotation | The study of the anodic aluminum oxide surface defectiveness was performed with a comprehensive approach that included an analysis of the spatial distribution of the relative surface work function and surface photo-EMF using the scanning Kelvin probe combined with a detailed study of the defective areas with optical microscopy. Low-resolution scanning of the sample`s surface with an electrometric probe ensures rapid preliminary detection and localization of defective areas while optical microscopy made it possible to determine the specific type of defects found. | ru |
