Получение электрического контакта к слою алюминия металлизацией формируемой методом взрывной фотолитографии
Another Title
Receiving electrical contact to the aluminum layer by metallization formed by lift-off photolithography method
Bibliographic entry
Получение электрического контакта к слою алюминия металлизацией формируемой методом взрывной фотолитографии = Receiving electrical contact to the aluminum layer by metallization formed by lift-off photolithography method / А. Е. Жамойть [и др.] // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 224-225.
Abstract
Исследованы способы достижения электрического контакта к алюминию металлизацией Ti/Ni/Au формируемого методом взрывной фотолитографии (lift-off). Получены электрические контакты с применением ионной очистки длительностью 30 минут и отжиге 450 °С сопротивлением 1,5–5 Ом на контакт.
Abstract in another language
Methods for achieving electrical contact with aluminum by metallization of Ti/Ni/Au formed by lift-off photolithography have been studied. Electrical contacts were obtained using ion cleaning for 30 minutes and annealing at 450 °C with a resistance of 1.5–5 Ohms per contact.