Browsing Т. 14, № 3 by Title
Now showing items 7-7 of 7
-
Универсальный цифровой зондовый электрометр для контроля полупроводниковых пластин
(БНТУ, 2023)Для исследования и контроля полупроводниковых пластин широко используются бесконтактные электрические методы, основанные на измерении потенциала поверхности (CPD) в сочетании с освещением и/или осаждением зарядов на образец с помощью коронного разряда, а также на измерении поверхностной фото-ЭДС (SPV). По фото-ЭДС возможно определение времени жизни неосновных носителей заряда, ...2023-10-17