Метод материального баланса в технологии полупроводников (практические задания)
Another Title
Учебно-методическое пособие для студентов специальности 1-27 01 01 «Экономика и организация производства (по направлениям)» по направлению 1-27 01 01-08 «Экономика и организация производства (приборостроение)»
Bibliographic entry
Балохонов, Д. В. Метод материального баланса в технологии полупроводников (практические задания) : учебно-методическое пособие для студентов специальности 1-27 01 01 «Экономика и организация производства (по направлениям)» по направлению 1-27 01 01-08 «Экономика и организация производства (приборостроение)» / Д. В. Балохонов ; Белорусский национальный технический университет, Кафедра «Микро- и нанотехника». – Минск : БНТУ, 2023. – 52 с.
Abstract
Пособие содержит теоретические сведения и инструкции, необходимые для выполнения практических работ по изучению метода материального баланса для оценки расхода материалов в полупроводниковом производстве. Приводятся основные сведения о технологических процессах полупроводниковой технологии, примеры расчетов расхода материалов для данных технологических процессов, имеются варианты условий для самостоятельного решения. Предназначено для студентов направления специальности 1-27 01 01-08 «Экономика и организация производства (приборостроение)», изучающих дисциплину «Технологии электронного приборостроения» и выполняющих разработку инженерно-технологического раздела при дипломном проектировании, может применяться для обучения студентов других специальностей, имеющих схожие дисциплины.