Now showing items 1-3 of 3

    • Измерение электрического потенциала поверхности с использованием статического зонда 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Микитевич, В. А.; Пантелеев, К. В.; Самарина, А. В.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л. (БНТУ, 2023)
      Методы контроля изменений электрического потенциала поверхности широко используются в операциях неразрушающего контроля прецизионных поверхностей, например, в электронной промышленности в процессе изготовления полупроводниковых приборов. Целью работы является расширение области применения методик бесконтактного контроля и измерения электрического потенциала поверхности на основе ...
      2023-08-15
    • Интеллектуальный сенсор для измерительных систем, работающих по схеме синусоидальное возбуждение – отклик 

      Микитевич, В. А.; Свистун, А. И.; Самарина, А. В.; Пантелеев, К. В.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2023)
      Измерительные приборы и системы, содержащие датчики, требующие синусоидальное возбуждающее воздействие, широко используются в информационно-измерительной технике как в производственных условиях, так и в исследовательской практике. В качестве примеров можно привести различные типы металлоискателей, вихретоковые дефектоскопы, анализаторы жидких сред, электрометры с динамическим ...
      2023-04-13
    • Универсальный цифровой зондовый электрометр для контроля полупроводниковых пластин 

      Жарин, А. Л.; Микитевич, В. А.; Свистун, А. И.; Пантелеев, К. В. (БНТУ, 2023)
      Для исследования и контроля полупроводниковых пластин широко используются бесконтактные электрические методы, основанные на измерении потенциала поверхности (CPD) в сочетании с освещением и/или осаждением зарядов на образец с помощью коронного разряда, а также на измерении поверхностной фото-ЭДС (SPV). По фото-ЭДС возможно определение времени жизни неосновных носителей заряда, ...
      2023-10-17