Белорусский национальный технический университет
Repository of the Belarusian National Technical University
ISSN: 2310-7405
Repository of the Belarusian National Technical University
View Item 
  •   Repository BNTU
  • Сериальные издания
  • Системный анализ и прикладная информатика
  • 2022
  • № 4
  • View Item
  •   Repository BNTU
  • Сериальные издания
  • Системный анализ и прикладная информатика
  • 2022
  • № 4
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Влияние радиусов сопряжений элементов мембранных МЭМС-систем на собственные колебания

Thumbnail
DOI
10.21122/2309-4923-2022-4-16-21
Authors
Авсиевич, А. М.
Таратын, И. А.
Кириллов, П. С.
Date
2022
Publisher
БНТУ
Another Title
The effect of the coupling radii of the elements of membrane MEMS systems on their own oscillations
Bibliographic entry
Авсиевич, А. М. Влияние радиусов сопряжений элементов мембранных МЭМС-систем на собственные колебания = The effect of the coupling radii of the elements of membrane MEMS systems on their own oscillations / А. М. Авсиевич, И. А. Таратын, П. С. Кириллов // Системный анализ и прикладная информатика. – 2022. – № 4. – С. 16-21.
Abstract
Рассмотрены закономерности изменения частот и форм собственных колебаний и напряженного состояния кремниевого чувствительного элемента механической системы МЭМС-акселерометра в зависимости от изменения радиусов скругления конструктивных элементов. Установлено увеличение собственных частот системы и напряжений в торсионных подвесах с увеличением радиусов сопряжений подвеса с рамкой и инерционной массой. Скругление формы подвесов в плане приводит к снижению собственных частот и росту напряжений, возникающих при колебательных движениях. Подтвержден факт локализации форм колебаний высокой частоты в инерционной массе. Рекомендован комплекс конструктивных решений, позволяющих управлять вибрационным состоянием механической системы МЭМС-акселерометра.
Abstract in another language
The regularities of changes in the frequencies and forms of natural oscillations and the stress state of a silicon sensing element of a mechanical MEMS accelerometer system depending on changes in the radii of rounding of structural elements are considered. An increase in the natural frequencies of the system and stresses in torsion suspensions has been established with an increase in the radii of the coupling of the suspension with the frame and the inertial mass. The rounding of the shape of the suspensions in the plan leads to a decrease in natural frequencies and an increase in stresses arising from oscillatory movements. The fact of localization of high-frequency oscillation forms in the inertial mass is confirmed. A set of design solutions is recommended to control the vibration state of the MEMS accelerometer mechanical system.
URI
https://rep.bntu.by/handle/data/126528
View/Open
16-21.pdf (566.9Kb)
Collections
  • № 4[9]
Show full item record
CORE Recommender

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
 

Browse

All of Repository BNTUCommunities & CollectionsAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateTypeThis CollectionAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateType

My Account

LoginRegister

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us