Now showing items 1-1 of 1

    • Влияние радиусов сопряжений элементов мембранных МЭМС-систем на собственные колебания 

      Авсиевич, А. М.; Таратын, И. А.; Кириллов, П. С. (БНТУ, 2022)
      Рассмотрены закономерности изменения частот и форм собственных колебаний и напряженного состояния кремниевого чувствительного элемента механической системы МЭМС-акселерометра в зависимости от изменения радиусов скругления конструктивных элементов. Установлено увеличение собственных частот системы и напряжений в торсионных подвесах с увеличением радиусов сопряжений подвеса с рамкой ...
      2023-03-14