Классификация диффузионных барьерных слоев при создании металлизации ИС
Bibliographic entry
Козлов, К. С. Классификация диффузионных барьерных слоев при создании металлизации ИС / К. С. Козлов, А. Г. Ченых // Новые направления развития приборостроения : материалы 2-й Международной студенческой научно-технической конференции (22-24 апреля 2009 г.) / редкол.: В. Л. Соломахо [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 168.