Классификация диффузионных барьерных слоев при создании металлизации ИС
| dc.contributor.author | Козлов, К. С. | ru |
| dc.contributor.author | Ченых, А. Г. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-10-26T11:01:12Z | |
| dc.date.available | 2022-10-26T11:01:12Z | |
| dc.date.issued | 2009 | |
| dc.identifier.citation | Козлов, К. С. Классификация диффузионных барьерных слоев при создании металлизации ИС / К. С. Козлов, А. Г. Ченых // Новые направления развития приборостроения : материалы 2-й Международной студенческой научно-технической конференции (22-24 апреля 2009 г.) / редкол.: В. Л. Соломахо [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 168. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/121776 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Классификация диффузионных барьерных слоев при создании металлизации ИС | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
