Формирование тонких пленок силицида магния путем стационарного отжига
Bibliographic entry
Филипченко, Е. В. Формирование тонких пленок силицида магния путем стационарного отжига / Е. В. Филипченко, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 6-й Международной студенческой научно-технической конференции, 24-26 апреля 2013 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 170.