Формирование тонких пленок силицида магния путем стационарного отжига
dc.contributor.author | Филипченко, Е. В. | ru |
dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2022-10-24T11:18:32Z | |
dc.date.available | 2022-10-24T11:18:32Z | |
dc.date.issued | 2013 | |
dc.identifier.citation | Филипченко, Е. В. Формирование тонких пленок силицида магния путем стационарного отжига / Е. В. Филипченко, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 6-й Международной студенческой научно-технической конференции, 24-26 апреля 2013 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 170. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/121302 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Формирование тонких пленок силицида магния путем стационарного отжига | ru |
dc.type | Working Paper | ru |