Возможные пути снижения температуры подложек при вакуумно-дуговом нанесении покрытий
Bibliographic entry
Жуевская, С. Е. Возможные пути снижения температуры подложек при вакуумно-дуговом нанесении покрытий / С. Е. Жуевская, Д. Г. Родькин ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 2. – С. 342-344.
Abstract
В данной работе предложены методы модификации технологического процесса вакуумно-дугового нанесения покрытий с целью
обеспечения возможности применения данного способа для термочувствительных подложек.