Нанесение покрытий с помощью катодного распыления
Bibliographic entry
Голенко, А. С. Нанесение покрытий с помощью катодного распыления / А. С. Голенко ; науч. рук. С. Д. Латушкина // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 2. – С. 320-322.
Abstract
В данной работе рассматривается метод нанесения покрытий катодным распылением. Анализируются преимущества и недостатки
метода и области применения.