Анализ типовых подложкодержателей купольного типа
Bibliographic entry
Винник, И. О. Анализ типовых подложкодержателей купольного типа / И. О. Винник ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 2. – С. 307-310.
Abstract
В данной статье проведен анализ конструкций, существующих
подложкодержателей купольного типа, которые можно внедрить в
вакуумную установку «Stratnanotech Vega – С» для увеличения ее
производительности.