Морфология и свойства Cr-TiN покрытий, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
Bibliographic entry
Бердиев, А. Г. Морфология и свойства Cr-TiN покрытий, осажденных методом реактивного магнетронного распыления / А. Г. Бердиев ; науч. рук.: Д. Г. Пилипцов, Н. Н. Федосенко // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 2. – С. 303-307.
Abstract
Осаждены композиционные Cr-TiN покрытия с использованием
метода реактивного магнетронного распыления. Атомно-силовая
микроскопия показала изменение параметров поверхностной морфологии от давления азота. Методами инструментального наноиндентирования установлено изменение механических свойств покрытий,
полученных при различном парциальном давлении азота.