Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью
Bibliographic entry
Мацкевич, Э. П. Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью / Э. П. Мацкевич ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 2. – С. 367-370.
Abstract
Увеличение производительности магнетронной распылительной
системы путем повышения тока разряда негативно влияет на работу магнетронной распылительной системы (МРС). В связи с этим
наибольший интерес предоставляет МРС с жидкофазной мишенью.
В данной статье рассмотрены две основные конструкции МРС с жидкофазной мишенью. Предоставлены основные преимущества и недостатки данных конструкций и сравнительная характеристика с обычными МРС. Так же сделаны выводы про внедрение данных систем в
производство.