Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Мацкевич, Э. П."

Now showing items 1-5 of 5

    • Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью 

      Мацкевич, Э. П. (БНТУ, 2022)
      Увеличение производительности магнетронной распылительной системы путем повышения тока разряда негативно влияет на работу магнетронной распылительной системы (МРС). В связи с этим наибольший интерес предоставляет МРС с жидкофазной мишенью. В данной статье рассмотрены две основные конструкции МРС с жидкофазной мишенью. Предоставлены основные преимущества и недостатки данных ...
      2022-10-21

    • Модернизация устройства распыления материала катода вакуумной установки 

      Мацкевич, Э. П. (БНТУ, 2022)
      В данной статье рассматривается проблема неравномерного нанесения покрытия. Предложено использовать специальные конические экраны для решения данной проблемы. Выявлены оптимальные размеры экрана и расстояние откатода, при котором достигаются наилучшие результаты.
      2022-10-21

    • Оптические датчики и их особенности 

      Сечко, И. А.; Мацкевич, Э. П. (БНТУ, 2022)
      В настоящее время существует проблема контроля выбросов ядовитых, взрывоопасных и других вредных газов. Для решения этой проблемы применяются различные датчики, одними из которых являются оптические. В данной статье описывается актуальность оптических газоанализаторов, их классификация, а также приведены некоторые примеры принципиальных схем работы таких датчиков.
      2022-10-21

    • Тонкоплёночные материалы на основе силицидов тугоплавких элементов, применяемые в ИК-излучателях оптических газоанализаторов 

      Сечко, И. А.; Мацкевич, Э. П. (БНТУ, 2022)
      Основными частями оптических газоанализаторов являются источник ИК-излучения и приемник этого излучения. Излучатель может быть представлен в виде диода или тонкой пленки материала (металла или сплава). В данной статье описаны материалы, которые возможно использовать в качестве тонкопленочных источников инфракрасного излучения.
      2022-10-21

    • Цилиндрическая магнетронная распылительная система с увеличенной зоной распыления мишени 

      Мацкевич, Э. П. (БНТУ, 2022)
      В данной статье описывается цилинрическая магнетронная распылительная система для нанесения тонких пленок дисилицида молибдена.
      2022-10-21