| dc.contributor.author | Томаль, В. С. | ru |
| dc.contributor.author | Касинский, Н. К. | ru |
| dc.contributor.author | Иванов, И. А. | ru |
| dc.contributor.author | Иванов, И. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Гомель | ru |
| dc.date.accessioned | 2014-12-27T09:13:42Z | |
| dc.date.available | 2014-12-27T09:13:42Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Томаль, В. С. Низкоэнергетический источник для ионного ассистирования / В. С. Томаль, Н. К. Касинский, И. А. Иванов // Материалы. Технологии. Инструменты. - 2013. - Т. 18 № 1. - С. 67-69. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/11535 | |
| dc.description.abstract | Предложен способ получения тонкопленочных беспористых покрытий с плотной структурой и высокой абразивной стойкостью без применения нагрева подложек до 300 °С с использованием метода ионного ассистирования. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | ИММС НАНБ | ru |
| dc.subject | Тонкопленочные покрытия | ru |
| dc.subject | Вакуумные покрытия - нанесение | ru |
| dc.subject | Ионное ассистирование | ru |
| dc.title | Низкоэнергетический источник для ионного ассистирования | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 621.793 | ru |
| dc.relation.journal | Материалы. Технологии. Инструменты | ru |
