Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Телеш, Е. В."
Now showing items 1-2 of 2
-
Ионно-лучевое распыление мишени из политетрафторэтилена
Телеш, Е. В.; Точеный, В. А. (БНТУ, 2021)Определено влияние ускоряющего напряжение на аноде Ua, давления и состава рабочего газа на процессы нагрева и ионно-лучевого распыления мишени из политетрафторэтилена. Увеличение Ua и рабочего давления приводило к росту скорости нагрева и достижения максимальной температуры мишени до 480 К за 4–5 минут распыления. Установлено, что через 1–1,5 мин после начала распыления происходит ...2022-02-02 -
Исследование параметров ионных пучков меди
Телеш, Е. В.; Данилович, С. В.; Гутенко, Н. Д. (БНТУ, 2021)Исследованы параметры пучков ионов меди в зависимости от режимов работы ионного источника и особенностей его конструкции. Измерения осуществляли с использованием ускорителя с анодным слоем, работающим в режиме ионно-пучкового фокуса, одиночного и многосеточного зондов. При измерениях плотности тока варьировались давление рабочего газа, ускоряющее напряжение на аноде Uа и расстояние ...2022-02-02