Исследование параметров ионных пучков меди
Another Title
Investigation of the parameters of copper ion beams
Bibliographic entry
Телеш, Е. В. Исследование параметров ионных пучков меди = Investigation of the parameters of copper ion beams / Е. В. Телеш, С. В. Данилович, Н. Д. Гутенко // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17-19 ноября 2021 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 353-354.
Abstract
Исследованы параметры пучков ионов меди в зависимости от режимов работы ионного источника и особенностей его конструкции. Измерения осуществляли с использованием ускорителя с анодным слоем, работающим в режиме ионно-пучкового фокуса, одиночного и многосеточного зондов. При измерениях плотности тока варьировались давление рабочего газа, ускоряющее напряжение на аноде Uа и расстояние h «ионный источник–диафрагма». Установлено, что при низких давлениях рабочего газа и при ускоряющем напряжении свыше 1,5–2,0 кВ наблюдается снижение плотности тока ионов. Увеличение h способствовало снижению плотности тока электронов и росту плотности ионного тока до 10 мА/см2. Анализ тормозных характеристик показал, что энергия ионов изменялась в диапазоне 36–60 эВ.
Abstract in another language
The parameters of beams of copper ions are investigated depending on the operating modes of the ion source and the features of its design. The measurements were carried out using an accelerator with an anode layer operating in the ion-beam focus mode, single and multigrid probes. When measuring the current density, the pressure of the working gas, the accelerating voltage at the anode Uа, and the distance h «ion source – diaphragm » were varied. It was found that at low pressures of the working gas and at an accelerating voltage above 1.5–2.0 kV, a decrease in the ion current density is observed. An increase h promoted a decrease in the electron current density and an increase in the ion current density to 10 mA/cm2. Analysis of the inhibitory characteristics showed that the ion energy varied in the range of 36–60 eV.