Белорусский национальный технический университет
Repository of the Belarusian National Technical University
ISSN: 2310-7405
Repository of the Belarusian National Technical University
View Item 
  •   Repository BNTU
  • Материалы конференций и семинаров
  • Международные и республиканские конференции
  • Приборостроение
  • Приборостроение-2021
  • Материалы конференции по статьям
  • View Item
  •   Repository BNTU
  • Материалы конференций и семинаров
  • Международные и республиканские конференции
  • Приборостроение
  • Приборостроение-2021
  • Материалы конференции по статьям
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Ионно-лучевое распыление мишени из политетрафторэтилена

Thumbnail
Authors
Телеш, Е. В.
Точеный, В. А.
Date
2021
Publisher
БНТУ
Another Title
Ion-beam sputtering of a polytetrafluoroethylene target
Bibliographic entry
Телеш, Е. В. Ионно-лучевое распыление мишени из политетрафторэтилена = Ion-beam sputtering of a polytetrafluoroethylene target / Е. В. Телеш, В. А. Точеный // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17-19 ноября 2021 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 355-356.
Abstract
Определено влияние ускоряющего напряжение на аноде Ua, давления и состава рабочего газа на процессы нагрева и ионно-лучевого распыления мишени из политетрафторэтилена. Увеличение Ua и рабочего давления приводило к росту скорости нагрева и достижения максимальной температуры мишени до 480 К за 4–5 минут распыления. Установлено, что через 1–1,5 мин после начала распыления происходит увеличение рабочего давления в камере за счет разложения политетрафторэтилена. Повышение давления приводит к росту тока разряда и снижению напряжения анода до 1,0–1,2 кВ. Добавка фтор- содержащего газа С3F8 способствовала росту скорости нагрева мишени ~ в 2 раза и достижению за время распыления 4 мин температуры мишени 500 К.
Abstract in another language
The influence of the accelerating voltage at the anode Ua, the pressure and composition of the working gas on the heating and ion-beam sputtering of a polytetrafluoroethylene target is determined. An increase in Ua and working pressure led to an increase in the heating rate and to a maximum target temperature of up to 480 K in 4–5 minutes of sputtering. It was found that 1–1.5 min after the start of sputtering, the working pressure in the chamber increases due to the decomposition of polytetrafluoroethylene. An increase in pressure leads to an increase in the discharge current and a decrease in the anode voltage to 1.0–1.2 kV. The addition of fluorinecontaining gas С3F8 promoted an increase in the heating rate of the target by ~ 2 times and reached the target temperature of 500 K in a sputtering time of 4 min.
URI
https://rep.bntu.by/handle/data/109579
View/Open
355-356.pdf (327.7Kb)
Collections
  • Материалы конференции по статьям[230]
Show full item record
CORE Recommender

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
 

Browse

All of Repository BNTUCommunities & CollectionsAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateTypeThis CollectionAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateType

My Account

LoginRegister

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us