Browsing Приборостроение-2021 by Author "Таратын, И. А."
Now showing items 1-3 of 3
-
Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из оксидов металлов
Таратын, И. А.; Козуля, А. А.; Рысик, А. Н. (БНТУ, 2021)В данной работе рассматривается конструкция и характеристики газового сенсора, реализованные на кремниевой подложке, с использованием планарной технологии. При измерениях выходного сигнала в качестве нагревательного элемента были использованы оксиды металлов III-й группы таблицы Менделеева, которые одновременно являлись газочувствительным слоем. Данная конструкция обеспечивает ...2022-02-02 -
Широкодиапазонные MEMS датчики теплового потока
Таратын, И. А.; Кернасовский, Ю. М.; Филатов, С. А. (БНТУ, 2021)Предложены новые решения позволяющие увеличить чувствительность и оптимизировать спектральный диапазон термоэлектрических многоэлементных МЭМС датчиков оптического излучения.2022-02-02 -
Эллиптический емкостной микродатчик давления
Николаева, Т. А.; Таратын, И. А.; Чижик, С. А. (БНТУ, 2021)Емкостной датчик давления состоит из подвижной мембраны, которая вызывает изменение емкости для приложенного давления. Для достижения высокой чувствительности используется тонкая мембрана большой площади с небольшим разделительным зазором между мембраной и металлическим контактом. Это приводит к нелинейности, уменьшает динамический диапазон измерений и увеличивает размер датчика. ...2022-02-02