Эллиптический емкостной микродатчик давления
Another Title
Elliptical capacitive pressure microsensor
Bibliographic entry
Николаева, Т. А. Эллиптический емкостной микродатчик давления = Elliptical capacitive pressure microsensor / Т. А. Николаева, И. А. Таратын, С. А. Чижик // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17-19 ноября 2021 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 316-317.
Abstract
Емкостной датчик давления состоит из подвижной мембраны, которая вызывает изменение емкости для приложенного давления. Для достижения высокой чувствительности используется тонкая мембрана большой площади с небольшим разделительным зазором между мембраной и металлическим контактом. Это приводит к нелинейности, уменьшает динамический диапазон измерений и увеличивает размер датчика. Таким образом, оптимальная конструкция датчика необходима для достижения баланса между этими компромиссами.
Abstract in another language
A capacitive pressure sensor consists of a moving diaphragm that causes a change in capacitance for the applied pressure. To achieve high sensitivity, a thin, large area diaphragm with a small separation gap between the diaphragm and the metal contact is used. This results in non-linearity, reduces the dynamic range of the measurement and increases the size of the sensor. Thus, optimal sensor design is needed to achieve a balance between these tradeoffs.