Магнетронное напыление
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2013Publisher
Bibliographic entry
Галабурда, Д. И. Магнетронное напыление / Д. И. Галабурда ; науч. рук. В. А. Федорцев // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы IX Республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов БНТУ (69-й студенческой научно-технической конференции БНТУ), 16-17 мая 2013 г. : в 2 ч. / редкол.: С. A. Иващенко (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – Ч. 2. – С. 17-20.