Магнетронное напыление
| dc.contributor.advisor | Федорцев, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Галабурда, Д. И. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-09-20T08:07:26Z | |
| dc.date.available | 2021-09-20T08:07:26Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Галабурда, Д. И. Магнетронное напыление / Д. И. Галабурда ; науч. рук. В. А. Федорцев // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы IX Республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов БНТУ (69-й студенческой научно-технической конференции БНТУ), 16-17 мая 2013 г. : в 2 ч. / редкол.: С. A. Иващенко (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – Ч. 2. – С. 17-20. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/101269 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Магнетронное напыление | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
