Browsing by Author "Трапашко, Г. А."

Now showing items 1-5 of 5

    • Задачи контроля критических размеров в технологических процессах микроэлектронного производства 

      Трапашко, Г. А. (БНТУ, 2011)
      Трапашко, Г. А. Задачи контроля критических размеров в технологических процессах микроэлектронного производства / Г. А. Трапашко // Приборостроение-2011 : материалы 4-й Международной научно-технической конференции, 16–18 ноября 2011 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – С. 166-167.
      2026-03-12

    • Калибровка установок измерений размеров элементов микроэлектронных структур 

      Трапашко, Г. А. (БНТУ, 2012)
      Развитие микроэлектроники требует решения проблемы обеспечения единства линейных измерений в субмикронном диапазоне. Этого можно достичь, если проводить калибровку измерительных устройств по эталонным образцам – мерам малой длины. При калибровке измерительного оборудования с помощью эталонной меры важно исследовать составляющие точности метода и их влияние на результат измерений. ...
      2012-08-15

    • Оптико-механическое оборудование для контроля микроразмеров планарных структур 

      Трапашко, Г. А. (БНТУ, 2011)
      Трапашко, Г. А. Оптико-механическое оборудование для контроля микроразмеров планарных структур / Г. А. Трапашко // Приборостроение-2011 : материалы 4-й Международной научно-технической конференции, 16–18 ноября 2011 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – С. 12-13.
      2026-03-12

    • Синтез оптоэлектронной системы установки контроля микроэлектронных структур 

      Трапашко, Г. А. (БНТУ, 2014)
      Совершенствование оборудования для контроля размеров и формы микроэлектронных структур на соответствие проектным данным и отсутствие привнесенных в него дефектов и загрязнений требует развития оптоэлектронных систем регистрации изображений структурных элементов. Синтез этих систем можно осуществлять с помощью метода, позволяющего установить обоснованность использования в ней ...
      2014-04-14

    • Цифровой микроскоп для контроля изделий микроэлектроники 

      Трапашко, Г. А. (БНТУ, 2012)
      Трапашко, Г. А. Цифровой микроскоп для контроля изделий микроэлектроники / Г. А. Трапашко // Приборостроение-2012 : материалы 5-й Международной научно-технической конференции, 21–23 ноября 2012 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 104-105.
      2026-03-11