Задачи контроля критических размеров в технологических процессах микроэлектронного производства
Bibliographic entry
Трапашко, Г. А. Задачи контроля критических размеров в технологических процессах микроэлектронного производства / Г. А. Трапашко // Приборостроение-2011 : материалы 4-й Международной научно-технической конференции, 16–18 ноября 2011 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – С. 166-167.
