Browsing by Author "Петлицкая, Т. В."
Now showing items 1-2 of 2
-
Разработать метод бесконтактного контроля однородности распределения параметров ионно-легированных и диффузионных слоев на полупроводниковых пластинах диаметров до 200 мм. Часть 1
Владимирова, Т. Л.; Воробей, И. В.; Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Костина, Г. А.; Самарина, А. В.; Микитевич, В. А.; Миронович, Н. М.; Пантелеев, К. В.; Свистун, А. И.; Сопряков, В. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Шадурская, Л. И.; Петлицкий, А. Н.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Шабалина, С. В.; Омельченко, А. А. (2019)Объектом исследования являлись методы бесконтактного контроля однородности распределения параметров ионно-легированных и диффузионных слоев на полупроводниковых пластинах. Целью исследования являлась разработка новых методов и средств контроля и картирования поверхности полупроводниковых пластин, обеспечивающих бесконтактные неразрушающие измерения физических параметров ...2025-04-15 -
Разработать метод бесконтактного контроля однородности распределения параметров ионно-легированных и диффузионных слоев на полупроводниковых пластинах диаметров до 200 мм. Часть 2. Приложения
Владимирова, Т. Л.; Воробей, И. В.; Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Костина, Г. А.; Самарина, А. В.; Микитевич, В. А.; Миронович, Н. М.; Пантелеев, К. В.; Свистун, А. И.; Сопряков, В. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Шадурская, Л. И.; Петлицкий, А. Н.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Шабалина, С. В.; Омельченко, А. А. (2019)Объектом исследования являлись методы бесконтактного контроля однородности распределения параметров ионно-легированных и диффузионных слоев на полупроводниковых пластинах. Целью исследования являлась разработка новых методов и средств контроля и картирования поверхности полупроводниковых пластин, обеспечивающих бесконтактные неразрушающие измерения физических параметров ...2025-04-15