В работе представлен анализ и экспериментальное исследование метода компенсации дифракционных эффектов в проекционной фотолитографии путем введения прозрачной жидкости между фотошаблоном и кремниевой пластиной. Метод основан на использовании жидкости с высоким показателем преломления, что приводит к увеличению числовой апертуры проекционной системы и снижению критического размера ...

В результате выполнения исследовательской работы разработан компактный высокочастотный источник лазерного излучения (твердотельный микрочип лазер) с длиной волны в спектральной области 1,5 мкм для лидарной системы, предназначенной для обеспечения безопасности пути во время хода поезда.

Разработка прототипа лазерного 3D-сканера для контроля геометрии деталей на производстве / З. Д. Климашевич [и др.] // Новые направления развития приборостроения : материалы 17-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17-19 апреля 2024 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. ...