Чувствительные элементы для мультисенсорных микросистем
| dc.contributor.author | Реутская, О. Г. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-02-02T08:10:14Z | |
| dc.date.available | 2022-02-02T08:10:14Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.description.abstract | Чувствительные элементы мультисенсорных микросистем применяют для измерения выходного сигнала сенсора. Конструктивные особенности составных частей сенсоров определяют рабочие диапазоны устройств на их основе. Исследование форм «полоска» и «меандр» нагревателей позволило установить влияние компонентов конструкции на измеряемый сигнал. Определены режимы работы, позволяющие снизить энергопотребление микросистем на алюмооксидных подложках. | ru |
| dc.identifier.citation | Реутская, О. Г. Чувствительные элементы для мультисенсорных микросистем = Sensitive elements for multisensory microsystems / О. Г. Реутская // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17-19 ноября 2021 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 328-329. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/109565 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Чувствительные элементы для мультисенсорных микросистем | ru |
| dc.title.alternative | Sensitive elements for multisensory microsystems | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| local.description.annotation | The sensing elements of multi-sensor microsystems are used to measure the sensor output signal. The design features of the sensor components determine the operating ranges of devices based on them. The study of the shapes of the “strip” and “meander” heaters allowed us to establish the influence of the design components on the measured signal. The operating modes allowing to reduce the energy consumption of microsystems on aluminum oxide substrates are determined. | ru |
Files
Original bundle
1 - 1 of 1