Чувствительные элементы для мультисенсорных микросистем
Loading...
Files
Authors
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Sensitive elements for multisensory microsystems
Abstract
Чувствительные элементы мультисенсорных микросистем применяют для измерения выходного сигнала сенсора. Конструктивные особенности составных частей сенсоров определяют рабочие диапазоны устройств на их основе. Исследование форм «полоска» и «меандр» нагревателей позволило установить влияние компонентов конструкции на измеряемый сигнал. Определены режимы работы, позволяющие снизить энергопотребление микросистем на алюмооксидных подложках.
item.page.description-other
The sensing elements of multi-sensor microsystems are used to measure the sensor output signal. The design features of the sensor components determine the operating ranges of devices based on them. The study of the shapes of the “strip” and “meander” heaters allowed us to establish the influence of the design components on the measured signal. The operating modes allowing to reduce the energy consumption of microsystems on aluminum oxide substrates are determined.
Description
Citation
Реутская, О. Г. Чувствительные элементы для мультисенсорных микросистем = Sensitive elements for multisensory microsystems / О. Г. Реутская // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17-19 ноября 2021 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 328-329.