Влияние фторидов редкоземельных элементов на микроструктуру и свойства мишеней для распыления на основе ZnO
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Influence of rare-earth fluoride elements on the microstructure and properties of targets for sputtering on the basis ZnO
Abstract
В статье представлены результаты исследований влияния фторидов редкоземельных элементов на микроструктуру и свойства мишеней для распыления тонких пленок на основе ZnO.
item.page.description-other
Results of research on influence of rare-earth fluoride elements on the microstructure and properties of targets for sputtering on the basis ZnO are presented.
Description
Citation
Влияние фторидов редкоземельных элементов на микроструктуру и свойства мишеней для распыления на основе ZnO = Influence of rare-earth fluoride elements on the microstructure and properties of targets for sputtering on the basis ZnO / А. А. Шевченок [и др.] // Порошковая металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусское республиканское научно-производственное объединение порошковой металлургии. – Минск : Вышэйшая школа, 1977 . - Вып. 31 / Национальная академия наук Беларуси (Минск), Белорусский государственный научно-производственный концерн порошковой металлургии, Государственное научное учреждение "Институт порошковой металлургии"; гл. ред. П. А. Витязь. – Минск : Белорусская наука, 2008. – С. 286-289.