Влияние фторидов редкоземельных элементов на микроструктуру и свойства мишеней для распыления на основе ZnO
Another Title
Influence of rare-earth fluoride elements on the microstructure and properties of targets for sputtering on the basis ZnO
Bibliographic entry
Влияние фторидов редкоземельных элементов на микроструктуру и свойства мишеней для распыления на основе ZnO = Influence of rare-earth fluoride elements on the microstructure and properties of targets for sputtering on the basis ZnO / А. А. Шевченок [и др.] // Порошковая металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусское республиканское научно-производственное объединение порошковой металлургии. – Минск : Вышэйшая школа, 1977 . - Вып. 31 / Национальная академия наук Беларуси (Минск), Белорусский государственный научно-производственный концерн порошковой металлургии, Государственное научное учреждение "Институт порошковой металлургии"; гл. ред. П. А. Витязь. – Минск : Белорусская наука, 2008. – С. 286-289.
Abstract
В статье представлены результаты исследований влияния фторидов редкоземельных элементов на микроструктуру и свойства мишеней для распыления тонких пленок на основе ZnO.
Abstract in another language
Results of research on influence of rare-earth fluoride elements on the microstructure and properties of targets for sputtering on the basis ZnO are presented.