Получение функциональных слоев на основе ZnO методом Silar
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Fabrication functional layers based on ZnO by Silar method
Abstract
Для получения функциональных слоев газовых сенсоров на основе оксида цинка был использован метод ионного наслаивания (Successive Ionic Layer Adsorbtion and Reaction, SILAR). Осаждение пленок проводилось на нанопористые подложки из оксида алюминия, как на пористую, так и на барьерную сторону. Часть полученных образцов были подвергнуты термической обработке для исследования влияния температуры на морфологию полученных пленок. Выявлены различия в структуре поверхности полученных поликристаллических пленок, осажденных на пористой и барьерной поверхностях подложки. Отмечено укрупнения составляющих пленку зерен в результате нагрева.
item.page.description-other
Functional layers for gas sensors based on ZnO were fabricated using Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction (SILAR) technique. Zinc oxide films were deposited on nanoporous substrate of aluminum oxide both on porous and barrier side. Half of samples were processed by heat treatment to study the temperature impact on morphology of zinc oxide films. Differences in surface structure of polycrystalline films have been revealed depending on substrate porous and dense side. The films grains growth has been registered as a result of heat treatment.
Description
Citation
Получение функциональных слоев на основе ZnO методом Silar = Fabrication functional layers based on ZnO by Silar method / С. В. Денисюк [и др.] // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 213-214.