Получение функциональных слоев на основе ZnO методом Silar
Another Title
Fabrication functional layers based on ZnO by Silar method
Bibliographic entry
Получение функциональных слоев на основе ZnO методом Silar = Fabrication functional layers based on ZnO by Silar method / С. В. Денисюк [и др.] // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 213-214.
Abstract
Для получения функциональных слоев газовых сенсоров на основе оксида цинка был использован метод ионного наслаивания (Successive Ionic Layer Adsorbtion and Reaction, SILAR). Осаждение пленок проводилось на нанопористые подложки из оксида алюминия, как на пористую, так и на барьерную сторону. Часть полученных образцов были подвергнуты термической обработке для исследования влияния температуры на морфологию полученных пленок. Выявлены различия в структуре поверхности полученных поликристаллических пленок, осажденных на пористой и барьерной поверхностях подложки. Отмечено укрупнения составляющих пленку зерен в результате нагрева.
Abstract in another language
Functional layers for gas sensors based on ZnO were fabricated using Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction (SILAR) technique. Zinc oxide films were deposited on nanoporous substrate of aluminum oxide both on porous and barrier side. Half of samples were processed by heat treatment to study the temperature impact on morphology of zinc oxide films. Differences in surface structure of polycrystalline films have been revealed depending on substrate porous and dense side. The films grains growth has been registered as a result of heat treatment.