Изготовление катодов-мишеней из композиционных силицидов для нанесения защитных покрытий с применением литейно-деформационной технологии

Изготовление катодов-мишеней из композиционных силицидов для нанесения защитных покрытий с применением литейно-деформационной технологии = Production of target cathodes from composite silicides for applying protective coatings using casting and deformation technologies / И. А. Иванов [и др.] // Литье и металлургия. – 2021. – № 2. – С. 68-75.

Abstract

В статье обсуждаются результаты изготовления многокомпонентных расходуемых катодов вакуумных электродуговых испарительных установок. Для получения слитков комплексного силицида, как исходного сырья для изготовления катодов-мишеней, предложено использовать индукционную плавку чистых металлических шихтовых материалов в атмосфере аргона. Методика позволила получать слитки комплексного силицида состава, близкого к расчетному и плотности не менее 93 %. Дальнейшая формовка катода происходит при контроле фракций порошка по их процентному соотношению при усилии прессования не менее 50 т. Полученные результаты сравниваются с СВС-методом изготовления катодов идентичного состава.

Abstract in another language

The article discusses the results of manufacturing multicomponent consumable cathodes of vacuum electric arc evaporation plants. To obtain ingots of complex silicide as a raw material for the manufacture of target cathodes, it is proposed to use induction melting of pure metal charge materials in an argon atmosphere. The method made it possible to obtain ingots of complex silicide with a composition close to the calculated one and a density of at least 93 %. Further forming of the cathode takes place when controlling the powder fractions by their percentage ratio with a pressing force of at least 50 tons. The results obtained are compared with the SHS method of manufacturing cathodes of identical composition.