Browsing Материалы конференций и семинаров by Author "Харченко, А. А."
Now showing items 1-2 of 2
-
Модификация поверхности пленок полиэтилентерефталата при имплантации высокоэнергетичными ионами инертных газов с удельной энергией 1 МэВ/нуклон
Бринкевич, Д. И.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Харченко, А. А.; Янковский, Ю. Н.; Черный, В. В. (БНТУ, 2017)Модификация поверхности пленок полиэтилентерефталата при имплантации высокоэнергетичными ионами инертных газов с удельной энергией 1 МэВ/нуклон / Д. И. Бринкевич [и др.] // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев ...2018-02-02 -
Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при γ-облучении и ионной имплантации
Бумай, Ю. А.; Бринкевич, Д. И.; Харченко, А. А.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н. (БНТУ, 2016)Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при γ-облучении и ионной имплантации / Ю. А. Бумай [и др.] // Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 276-277.2017-03-27