Формирование пленок оксида гафния-циркония методом реактивного магнетронного распыления комбинированной мишени
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2021Publisher
Bibliographic entry
Формирование пленок оксида гафния-циркония методом реактивного магнетронного распыления комбинированной мишени / Х. Т. Доан [и др.] ; науч. рук.: Д. А. Голосов, С. М. Завадский // Интеллектуальные, сенсорные и мехатронные системы-2021 [Электронный ресурс] : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций) / Белорусский национальный технический университет, Кафедра "Интеллектуальные и мехатронные системы" ; редкол.: В. М. Зайцев, В. А. Гулай, А. В. Подгорная ; сост. А. В. Подгорная. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 92-96.