Установки для ионной имплантации
Bibliographic entry
Кораневский, А. Г. Установки для ионной имплантации / А. Г. Кораневский, А. В. Ковалевская // Новые направления развития приборостроения : материалы 14-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 14–16 апреля 2021 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 164-165.