Галацевич, В. В. Трёхмерная кремниевая технология. Преимущества применения технологии в миро- и нанотехнике / В. В. Галацевич, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 14-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 14–16 апреля 2021 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 151-152.