Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники

Authors
Date
2020Publisher
Bibliographic entry
Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники / А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 78-80.