Диффузионные процессы в германий-кремниевых гетероструктурах при импульсных лазерных воздействиях
| dc.contributor.author | Гацкевич, Е. И. | ru |
| dc.contributor.author | Ивлев, Г. Д. | ru |
| dc.contributor.author | Гундина, М. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-02-09T08:18:43Z | |
| dc.date.available | 2021-02-09T08:18:43Z | |
| dc.date.issued | 2020 | |
| dc.identifier.citation | Гацкевич, Е. И. Диффузионные процессы в германий-кремниевых гетероструктурах при импульсных лазерных воздействиях / Е. И. Гацкевич, Г. Д. Ивлев, М. А. Гундина // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 433-435. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/86908 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Диффузионные процессы в германий-кремниевых гетероструктурах при импульсных лазерных воздействиях | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
