Диффузионные процессы в германий-кремниевых гетероструктурах при импульсных лазерных воздействиях
Bibliographic entry
Гацкевич, Е. И. Диффузионные процессы в германий-кремниевых гетероструктурах при импульсных лазерных воздействиях / Е. И. Гацкевич, Г. Д. Ивлев, М. А. Гундина // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 433-435.